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美國MORSTE/MG650臺式紫外線燈采用了5顆大功率紫外LED照射，波長為長波365nm，38cm處紫外線強度為7000μw/cm2，輻照面積為150mm，適用于半導體設(shè)備表面及晶圓制造設(shè)備表面的顆粒和潔凈度的檢查。
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